Gas semiconduttori
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Nell’industria dei semiconduttori, i gas SIAD sono usati nell’intero processo produttivo, a partire dalla crescita di ogni singolo cristallo di silicio e proseguendo attraverso ogni singola fase di fabbricazione dei wafer: ossidazione, deposizione chimica in fase vapore, spruzzamento, rivestimento, etching (pulizia delle superfici mediante attacco chimico), diffusione termica e ionizzazione.

Applicazioni dei gas nella produzione dei semiconduttori
La garanzia di fornitura di gas ad elevata purezza risulta essere un fattore critico per la produzione dei semiconduttori a livelli tecnologicamente avanzati. Basti pensare che la produzione di un circuito integrato richiede più di trenta gas di processo per la pulizia, la deposizione, l’ossidazione, il drogaggio e le inertizzazioni: si tratta di fatto della gamma di gas usati più vasta tra tutte le industrie in cui i gas trovano impiego. Oltretutto, le tracce di impurità, in parti per millione, in parti per miliardo ed addirittura in parti per trilione, devono obbligatoriamente essere misurate ed eliminate.
I gas semiconduttori vengono classificati nelle seguenti categorie:

  • gas apportatori di silicio (per crescite epitassiali)
  • gas dopanti
  • gas etching (per pulire, mediante attacco chimico, le superfici)
  • gas atmosferici
  • gas reagenti.

Di questi, l’azoto e l’ossigeno sono prodotti on-site tramite il processo di frazionamento dell’aria o approvvigionati in forma liquida, l’argon è fornito in forma liquida e l’idrogeno in forma gassosa.
L’azoto è largamente impiegato nella maggior parte dei processi produttivi, per la formazione di atmosfere inerti o per il lavaggio delle linee di distribuzione dei gas di processo al termine dell'operazione.
L’ossigeno è usato per l’ossidazione del silicio, che è una delle fasi più critiche nella produzione dei semiconduttori.
L’argon è utilizzato per la formazione di atmosfere inerti nei processi di sputtering, in cui l’azoto è troppo reattivo e potrebbe portare alla formazione di nitruri.
L’idrogeno trova impiego nella produzione di atmosfere riducenti per la ricottura di film metallici.
SIAD, nell’offrire la propria linea di gas semiconduttori, garantisce affidabilità e sicurezza, ovunque si trovi il sito produttivo del cliente.